Plasma polümeerkiled
Plasmapolümeerkiled uurivad fluorosüsinikku, süsivesinikku ja räni sisaldavate plasmapolümeerkilede ja nanokomposiitide sadestamise ja iseloomustamise praegust seisu plasmapolümeermaatriksi abil. Tutvustatakse plasmapolümerisatsiooni protsessi diagnostikat, näiteks optilise emissioonspektroskoopiat (OES, AOES), ja kirjeldatakse spetsiaalseid sadestamistehnikaid, näiteks atmosfäärirõhu hõõglahendust. Üksikasjalikult käsitletakse rakenduste jaoks olulisi küsimusi, nagu lagunemine ja stabiilsus, ning arutletakse struktuurilise iseloomustamise, põhiliste elektriliste ja optiliste omaduste ning biomeditsiiniliste rakenduste üle.
